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  磁流體密封裝置  
  為單晶硅爐、鍍膜設備、化學氣相沉積、液晶再生、電子指示器、熱處理爐等超高真空系統及對環境要求較高的設備提供優質磁流體密封件。高壓磁流體密封件已開發成功。
《一種藍寶石爐用磁流體密封裝置》專利號ZL201721711698.3		  
  高適應性：從低速到高速，從低壓到高壓， 從室溫到高溫，均能滿足各種設備的要求。  
  高性能：極限真空度10-6Pa.泄漏率10-12 Pa·m3/sec 長壽命：無磨損，具有極佳的工作 可靠性
   
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