型號
Model Number
VGHTL012NN
VGHTL025NN
VGHTL040NN
VGHTL050NN
A
0.502
1.002
1.502
2.002
B
3.215
3.339
3.714
3.966
C
2.75
3.00
3.25
D
1.998
2.622
3.248
3.748
E
1.25
2.00
3.5
F
0.38
0.50
0.62
G
0.500
1.000
H
J
0.03
耐真空度
Degree of vacuum pressure（Pa）
10-6
允許氦泄漏量
Leakage rate(He) [Pa·m3/sec]
<10-12
使用溫度范圍
Temperature range[℃]
0～80(超出該范圍可采用水冷結構)
(Adding water cooling structure if is beyond this temperature range)
使用氣體
Use of gas
非活性氣體
Non- reactive gases