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型號(hào)
Model Number

VGSFL006NN

VGSFL006NN

VGSFL010WN

VGSFL010WN

VGSFL012NN

VGSFL012NN

VGSFL019NN

VGSFL019WH

A

0.25

0.25

0.375

0.375

0.500

0.500

0.750

0.750

B

0.30dX0.40L
（flat）

0.30dX0.40L
（flat）

0.30dX0.40L
（flat）

0.30dX0.40L
（flat）

0.126w x 0.77d x 1.0L

0.126w x 0.77d x 1.0L

0.188w x 0.114d x 1.0L

0.188w x 0.114d x 1.0L

C

0.75

0.75

0.75

0.75

1.25

2.5

1.218

2.67

D

4.06

3.25

4.56

4.50

6.03

8.656

6.03

9.396

E

2.56

1.75

3.06

3.00

3.56

4.906

3.562

4.88

F

1.50

0.75

1.50

1.50

2.87

2.375

2.87

3.00

G

2.73

1.33

2.73

2.73

6.00

2.73

6.00

5.00

H

0.50

0.28

0.50

0.50

0.38

0.50

0.38

0.56

K

0.265，6x on 2.312 bc

0.172，6x on 1.062 bc

0.265，6x on 2.312 bc

0.265，6x on 2.312 bc

0.750，4x on 4.750 bc

0.265，6x on 2.312 bc

0.750，4x on 4.750 bc

0.406，6x on 4.000 bc

允許傳遞扭矩 Torque capacity[Ib-in]]

15

15

67

67

180

180

670

207

耐真空度 Degree ofvacuum pressure Pa）

10^-6

允許氦泄漏量 Leakage rate(He) [Pa·m³/sec]

<10^-12

使用溫度范圍 Temperature range[℃]

0～80
(超出該范圍可采用水冷結(jié)構(gòu))
(Adding water cooling structure if is beyond this temperature range)

使用氣體 Use ofgas

非活性氣體 Non-reactive gases